prof. dr hab. inż. Regina Paszkiewicz - Kierownik Katedry
prof. dr hab. inż. Marek Tłaczała - Zastępca ds. Rozwoju Katedry i Infrastruktury

Laboratorium Przyrządowych Procesów Technologicznych

prof. dr hab. inż. Regina Paszkiewicz - Kierownik Laboratorium
prof. dr hab. inż. Marek Tłaczała
dr inż. Kornelia Indykiewicz
dr inż. Wojciech Kijaszek
dr hab. inż. Ryszard Korbutowicz, prof. uczelni
dr inż. Wojciech Macherzyński
dr inż. Waldemar Oleszkiewicz
dr inż. Joanna Prażmowska-Czajka
dr inż. Andrzej Stafiniak
dr hab. inż Adam Szyszka, prof. uczelni
dr inż. Iwona Zborowska-Lindert
dr hab. inż. Krzysztof Grzelakowski
mgr inż. Agnieszka Zawadzka
Maria Depka

Laboratorium Epitaksji Struktur Fotonicznych

dr inż. Beata Ściana - Kierownik Laboratorium
dr inż. Damian Radziewicz
dr inż. Wojciech Dawidowski
dr inż. Mikołaj Badura
mgr inż. Adriana Łozińska

Laboratorium Epitaksji Struktur Szerokopasmowych i Charakteryzacji

dr hab. inż. Mateusz Wośko, prof. uczelni - Kierownik Laboratorium
dr inż. Piotr Pokryszka
mgr inż. Michał Stępniak