Katedra Mikroelektroniki i Nanotechnologii powstała w 2019 roku na bazie Wydziałowego Zakładu Mikroelektroniki i Nanotechnologii. Katedra ta stanowi kolejny etap, będący kontynuacją nieprzerwanej działalności grupy badawczej, której początki są związane, z utworzonym w latach siedemdziesiątych ubiegłego wieku w Instytucie Technik Elektronowych PWr, Zakładem Przyrządów Półprzewodnikowych.

Infrastrukturę Katedry tworzy szereg pracowni technologicznych, chemicznych i pomiarowych skupionych wokół dwóch laboratoriów typu clean-room. Powierzchnia obu laboratoriów wynosi 550 m2. Ich wyposażenie pozwala na przeprowadzenie wszystkich etapów pełnego cyklu technologicznego związanego z projektowaniem i wytwarzaniem zaawansowanych półprzewodnikowych struktur przyrządowych na bazie materiałów AIIIN i AIIIBV-N. Aparatura pomiarowa umożliwia określenie właściwości elektrycznych i optycznych wytworzonych warstw i struktur przyrządowych oraz pomiar parametrów użytkowych gotowych przyrządów. Laboratoria

Tematyka badawcza Katedry jest związana z rozwojem technologii oraz konstrukcji nano- i mikro- struktur, oraz bazujących na nich przyrządach półprzewodnikowych do zastosowań w elektronice i optoelektronice.

Katedra prowadzi badania w obszarze dyscypliny AEE (automatyka, elektronika i elektrotechnika), które koncentrują się w szczególności wokół tematyki:

• badania procesów wzrostu, techniką MOVPE struktur epitaksjalnych półprzewodników złożonych AIIIBV-N i AIIIN, przeznaczonych do zastosowań w optoelektronice, mikroelektronice i technice sensorowej,
• projektowania i wykonywanie przyrządowych procesów technologicznych elementów półprzewodnikowych na bazie materiałów AIIIBV-N i AIIIN w tym procesów: reaktywnego trawienia jonowego (RIE), wytwarzania warstw dielektrycznych techniką wspomaganego plazmowo chemicznego osadzania z fazy gazowej (PECVD), litografii w zakresie UV i DUV, elektronolitografii, wykonywania kontaktów omowych i Schottky’ego, pasywacji powierzchni, wytwarzania warstw diamentopodobnych i nanodiamentu techniką chemicznego osadzania z faz gazowej przy użyciu plazmy sprzężonej indukcyjnie (ICP CVD), separacji na chipy, wytwarzania połączeń drutowych, projektowania i wytwarzania masek fotolitograficznych,
• technologii heterostruktur półprzewodników szerokoprzerwowych i struktur kwantowych do zastosowań w elektronice wysokotemperaturowej, elektronice wysokich częstotliwości i dużych mocy,
• technologii heterostruktur AlGaN/GaN przeznaczonych do zastosowań w czujnikach gazów i biosensorów (opracowywanie i wytwarzanie przetworników, funkcjonalizacja powierzchni, warstw chemo- i bio- aktywnych), integracja materiałowa i przyrządowa,
• technologii heterostruktur i struktur niskowymiarowych AlGaInAsP-N, przeznaczonych do wytwarzania elementów optoelektronicznych (przełączniki optyczne, miniaturowe ogniwa do zastosowań specjalnych, wielozłączowe ogniwa fotowoltaiczne),
• projektowania, modelowania i technologii struktur, w tym demonstratorów i modeli przyrządów elektronicznych, optoelektronicznych i sensorów na bazie diod Schottky’ego, tranzystorów MESFET, HEMT, FAT-HEMT i HPT, detektorów MSM i p-i-n oraz przetworników SAW,
• symulacji, z użyciem pakietów Crosslight APSYS i Comsol Multiphysics, zjawisk fizycznych występujących w przyrządach,
• pomiarów: PL (w zakresie UV i IR), DLTS, SEM, EDX, EBIC, AFM, elektrochemicznego profilowania pojemnościowo–napięciowego, Halla (w stałym i zmiennym polu magnetycznym), spektroskopii impedancyjnej, przyrządowych pomiary stało- i zmiennoprądowych oraz mikrofalowych, w tym z użyciem sond „on wafer” do 20 GHz),
• wytwarzania cienkich warstw metodą fizycznego nanoszenia z fazy gazowej, a w szczególności z wykorzystaniem technik parowania.

Kadra naukowa posiada bogate doświadczenia w realizacji zewnętrznie finansowanych projektów badawczych Projekty, których wynikiem są nowe rozwiązania technologiczne oraz konstrukcyjne przedstawione w publikacjach zamieszczanych w renomowanych czasopismach naukowych. Publikacje

Infrastruktura badawcza jest jednocześnie aktywnie wykorzystywana w działalności dydaktycznej prowadzonej przez pracowników Katedry. W laboratoriach corocznie przeprowadzane są kursy dla studentów studiów inżynierskich i magisterskich (m. in. Mikroelektronika, Technologie opto- i mikroelektroniczne, Mikro- i nanoelektronika, Nowoczesne Metody Diagnostyczne, Podstawy technik wytwarzania) oraz realizowanych jest wiele prac dyplomowych o charakterze eksperymentalnym/praktycznym. Dydaktyka